Details
| Programm / Ausschreibung | Basisprogramm, Basisprogramm, Budgetjahr 2020 |
| Projektpartner | Lam Research AG |
| Projektstart | 01.06.2020 |
| Projektende | 31.05.2022 |
| Status | abgeschlossen |
| Projektlaufzeit | 24 Monate |
Projektbeschreibung
Das Ziel des Projektes ist eine umfassende Analyse aller möglichen Arten und Wege, wie kleinste Partikel auf der Waferoberfläche kommen können, sowie die Entwicklung wirksamer Methoden zur Vermeidung, Verringerung oder Entfernung.